凈化單元

凈化柱

功能:氣體密封,除水、除氧

容器材料:304不銹鋼

凈化材料:銅觸媒5kg、分子篩5kg

凈化能力:除氧60L、除水2kg

水氧指標(biāo):<1ppm

循環(huán)系統(tǒng)

工作氣體:氮?dú)狻鍤?、氦?

循環(huán)能力:集成風(fēng)機(jī)流量90m3/h(可提供更大風(fēng)機(jī)流量145m3/h、180m3/h)

再生

操作:PLC自動(dòng)控制再生過程

再生氣體:工作氣體與氫氣混合氣體(氫氣5%- 10%)

真空泵

規(guī)格:8m3/h或12m3/h

旋片泵:帶油霧過濾器,氣振控制

閥門

主閥:DN40KF,電氣動(dòng)角閥

控制閥:電磁集成閥


過渡倉

大過渡倉

倉體

尺寸:直徑360mm,長度600mm(可選直徑400mm)

材料:304不銹鋼

表面:內(nèi)表面為油膜拉絲面,外表面為噴漆或鏡面

附件

托盤:滑動(dòng)托盤

倉門:雙門,陽極氧化鋁材料,厚度10mm豎直操作,帶提升結(jié)構(gòu)

壓力表:模擬顯示

控制

操作:自動(dòng)控制

小過渡倉

倉體

尺寸:直徑150mm,長度300mm(可選直徑100mm)

材料:304不銹鋼

表面:內(nèi)表面為油膜拉絲面,外表面為噴漆或鏡面

附件

倉門:雙門

壓力表:模擬顯示

控制

操作:手動(dòng)操作


控制系統(tǒng)

描述

顯示:西門子PLC觸摸屏

功能:包括自診斷、斷電自啟動(dòng)特性,具有壓力控制和自適應(yīng)功能,自動(dòng)控制、循環(huán)控制、密碼保護(hù)

壓力控制:控制箱體、過渡艙的壓力,箱體工作壓力+/- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定,超出+/- 12mbar系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)

腳踏開關(guān):箱內(nèi)氣壓可通過腳踏開關(guān)調(diào)整

數(shù)據(jù)備忘錄:自動(dòng)記錄系統(tǒng)數(shù)據(jù)


配件

真空泵


氧分析儀

測量范圍: 0~1000ppm

露點(diǎn)分析儀

測量范圍:0~500ppm

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